평면 구리 대상

평면 구리 대상
정보:
평면 구리 표적은 얇은 구리 필름을 기판에 퇴적하기 위해 물리적 증기 증착 (PVD) 공정에 사용되는 평평한 디스크 형 또는 직사각형 스퍼터링 표적이며, 고 에너지 입자의 폭격하에 균일하고 고품질의 박막을 제조하는 데 결정적인 고 에너지 입자의 충격 하에서 원자를 안정적으로 방출 할 수있다. Fabmann은 반도체, 화학 증기 증착 (CVD) 및 광 응용 분야에 사용하기위한 가능한 밀도가 가장 높은 고순도 구리 스퍼터링 목표를 공급하는 것을 전문으로합니다.
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설명
기술적인 매개 변수

Fabmann은 박막에 대한 스퍼터링 대상을 공급할 수 있으며, 평면 표적 치수 및 최대 800mm의 구성과 결합 할 수 있거나 결합됩니다. 또한 구멍 드릴링, 스레딩, 베벨링 및 그루브와 같은 맞춤형 제작을 제공 할 수 있습니다. 우리의 저녁 식사 고순도 6N (99.9999%) 구리 (CU) 스퍼터링 대상은 원형, 직사각형, 환형, 타원형, 회전식 (회전) 및 맞춤형 치수를 포함한 모든 표준 건과 호환되는 다양한 설계 및 구성에 사용할 수 있습니다.

 

생산 과정

 

Fabmand는 결정화, 솔리드 스테이트 및 고품질 맞춤 구리 표적을 만들기 위해 승화와 같은 기타 초 고 정제 공정을 포함한 고급 생산 솔루션을 사용하며, 엄격한 생산 공정 제어는 고품질을 보장하는 데 필수적이며 일반적으로 다음 단계가 있습니다.

 

√ 전해 정제, 진공 유도 용융 및 진공 전자 빔 용융을 통해 고급 구리 잉곳을 생산합니다.

√ 두 번째 단계는 사전 처리 된 구리 블랭크를 얻기 위해 구리 잉곳이 뜨거운 단조, 열처리, 차가운 위조 및 열처리를 순서대로 통과하도록하는 것입니다.

√ 사전 처리 된 구리 블랭크는 구리 표지를 얻기 위해 핫 롤링, 열처리, 콜드 롤링 및 열처리를 순서대로 적용합니다.

√ 구리 대상 공백의 피부를 제거하십시오.

√ 원하는 최종 치수와 표면 마감을 달성하기 위해 맞춤형 가공 작업을 만들고 가공 응력으로 인해 구리 튜브 대상이 변형되는 것을 방지하기 위해 냉각수를 분사해야합니다.

√ 연삭 및 연마 후 완성 된 구리 대상 재료가 얻어집니다.

 

테스트 및 품질 관리

 

Dimension Check of Custom Copper Target

맞춤 구리 대상의 치수 점검

 

Fabmann은 모든 전달에 대한 엄격한 품질 관리 공정을 수행하며 모든 구리 표적은 X-Ray 형광 (XRF), 글로우 방전 질량 분석법 (GDMS) 및 유도 커플 링 플라즈마 (ICP)와 같은 다양한 고급 장비에 의해 분석됩니다. 우리의 검사에는 또한 이러한 금속 조화 구조 검사, 산소/수소 분석이 목표의 순도 및 조성을 검증하는 일련의 테스트 세트가 포함됩니다.

 

제품 차원

 

√ 최대 길이 3에서 3, 000 mm 인 맞춤형 치수

√ 2에서 8 '', 두께 : 0. 125 "& 0. 250 ''

√ 1 ", 두께 0. 125"

√ 진공 포장

 

 

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